1、坐標式影像測量儀的導軌加工精度很高，與空氣軸承的間隙很小，如果導軌上面有灰塵或其它雜質，就容易造成氣浮軸承和導軌劃傷。所以每次開機前應清潔機器的導軌，金屬導軌用航空汽油擦拭(120#汽油)，花崗巖導軌用無水乙醇擦拭。

2、切記在保養(yǎng)過程中不能給任何導軌上任何性質的油脂;

3、定期給光桿、絲桿、齒條上少量防銹油;

4、在長時間沒有使用坐標式影像測量儀時，在開機前應做好準備工作：控制室內的溫度和濕度(24小時以上)，在南方濕潤的環(huán)境中還應該定期把電控柜打開，使電路板也得到充分的干燥，避免電控系統(tǒng)由于受潮后突然加電后損壞。然后檢查氣源、電源是否正常;

5、開機前檢查電源，如有條件應配置穩(wěn)壓電源，定期檢查接地，接地電阻小于4歐姆。